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异质多晶SiGe栅应变Si NMOSFET物理模型研究

结合了“栅极工程”和“应变工程”二者的优点,异质多晶SiGe栅应变Si MOSFET,通过沿沟道方向使用不同功函数的多晶SiGe材料,在应变......

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SiGe Si NMOSFET 表面势阈值电压器件模型强反型异质多晶SiGe栅栅长物理模型功函数

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